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适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN200920106986.5, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  杨晋玲;  周美强;  周 威;  唐龙娟;  朱银芳;  杨富华
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微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910078562.7, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  杨晋玲;  周威;  周美强;  朱银芳;  杨富华
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基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010534603.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  宁瑾;  李永梅;  韩国威;  杨富华
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基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:  韩国威;  宁瑾;  孙国胜;  赵永梅;  杨富华
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沟道型碳化硅肖特基二极管及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-10
发明人:  何志;  张峰;  樊中朝;  赵咏梅;  孙国胜;  季安;  杨富华
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一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
发明人:  赵永梅;  杨香;  季安;  张明亮;  韩国威;  宁瑾;  王晓东;  杨富华
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一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
发明人:  赵永梅;  季安;  张明亮;  杨香;  宁瑾;  王晓东;  杨富华
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应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  杨富华
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采用晶圆级封装的MEMS器件 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  杨富华
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材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
发明人:  赵永梅;  何志;  季安;  刘胜北;  黄亚军;  杨香;  段瑞飞;  张明亮;  王晓东;  杨富华
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