| 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 |
| 宁瑾 ; 李永梅; 韩国威; 杨富华
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-31
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块，包括：一差分信号产生电路；一MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接；一电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接；一互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接；一频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接；一频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接，该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接，当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时，提供相应的直流电压信号给滤波器芯片，使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。 |
| 部门归属 | 半导体集成技术工程研究中心
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| 专利号 | CN201010534603.1
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN201010534603.1
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| 专利代理人 | 汤保平
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22341
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| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
宁瑾,李永梅,韩国威,等. 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块. CN201010534603.1.
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