中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 张泽洪; 赵德刚; 孙元平; 冯志宏; 沈晓明; 张宝顺; 冯淦; 郑新和; 杨辉 Adobe PDF(300Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1090/330 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 王荣; 周宏余; 司戈丽; 姚淑德; 张新辉; 郭增良; 翟佐绪; 王勇刚; 朱升云 Adobe PDF(220Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：867/298 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 韩培德; 杨海峰; 杨辉; 林耀望; 张泽; 李新峰; 周增圻 Adobe PDF(247Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：796/220 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 江德生; 刘大欣; 张耀辉; 段海龙; 吴荣汉 Adobe PDF(329Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：752/205 \| 提交时间：2010/11/23

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