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Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文
THIN SOLID FILMS, 395 (1-2), KANAZAWA, JAPAN, NOV 14-17, 2000
作者:  Feng Y;  Zhu M;  Liu F;  Liu J;  Han H;  Han Y;  Zhu M Chinese Acad Sci Grad Sch Dept Phys POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
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Poly-si  Structure  Hot-wire  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)  Chemical-vapor-deposition  Microcrystalline Silicon  Hydrogen  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Feng Y;  Zhu M;  Liu F;  Liu J;  Han H;  Han Y;  Zhu M,Chinese Acad Sci,Grad Sch,Dept Phys,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang YQ;  Chen CY;  Chen WD;  Yang FH;  Diao HW;  Wang YQ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,State Key Lab Surface Phys,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhuang QD;  Yoon SF;  Li HX;  Li JM;  Zeng YP;  Kong MY;  Lin LY;  Zhuang QD,Nanyang Technol Univ,Sch Elect & Elect Engn BLK S1,Nanyang Ave,Singapore 639798,Singapore.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu HY;  Xu B;  Qian JJ;  Ye XL;  Han Q;  Ding D;  Liang JB;  Zhong XR;  Wang ZG;  Liu HY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Lin F;  Wu J;  Jiang WH;  Cui H;  Wang ZG;  Lin F,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Niu ZC;  Wang XD;  Miao ZH;  Feng SL;  Niu ZC,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Natl Lab Superlattices & Microstruct,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  渠波;  郑新和;  王玉田;  韩景仪;  徐大鹏;  林世鸣;  杨辉;  梁骏吾
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  渠波;  郑新和;  王玉田;  冯志宏;  韩景仪;  刘世安;  林世鸣;  杨辉;  梁骏吾
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  郑新和;  渠波;  王玉田;  戴自忠;  杨辉;  梁骏吾
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