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反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 420
Authors:  陆建祖;  魏红振;  李玉鉴;  张永刚;  林世鸣;  余金中;  刘忠立
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硅表面清洗对7nm热SiO_2栅介质可靠性的影响 期刊论文
半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 10, 页码: 930
Authors:  高文钰;  刘忠立;  和致经;  张永刚;  梁秀琴;  梁桂荣
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利用改进的固相外延技术改善CMOS/SOS器件的特性 期刊论文
半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 433
Authors:  刘忠立;  和致经;  于芳;  张永刚;  郁元桓
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辐射加固的JFET/SOS:工艺及γ辐射效应 期刊论文
半导体学报, 1999, 卷号: 676, 期号: 0
Authors:  聂纪平;  刘忠立;  和致经;  于芳;  李国花;  张永刚
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