中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 高文钰; 刘忠立; 和致经; 张永刚; 梁秀琴; 梁桂荣 Adobe PDF(335Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：871/284 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 刘忠立; 和致经; 于芳; 张永刚; 郁元桓 Adobe PDF(265Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：850/230 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 聂纪平; 刘忠立; 和致经; 于芳; 李国花; 张永刚 Adobe PDF(331Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：800/225 \| 提交时间：2010/11/23

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