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| 半导体激光器热沉管道 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-04-16, 公开日期: 2009-06-04
发明人: 王大拯; 王翠鸾; 仲莉; 韩淋; 崇峰; 史慧玲; 王冠; 胡理科; 刘素平; 马骁宇
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| 用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽
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| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 殷海波 ; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽
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| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
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| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
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| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
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| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽
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