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图形化硅衬底氮化物外延及半极性发光器件 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
Authors:  张璐
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Si  Gan  湿法腐蚀  Mocvd  半极性面  多量子阱  正装结构led  
无权访问的条目 期刊论文
Authors:  Yin, Haibo;  Wang, Xiaoliang;  Ran, Junxue;  Hu, Guoxin;  Zhang, Lu;  Xiao, Hongling;  Li, Jing;  Li, Jinmin;  Yin, H.(hbyin@semi.ac.cn)
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用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
Inventors:  胡国新;  王晓亮;  冉军学;  肖红领;  殷海波;  张露;  李晋闽
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用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  殷海波;  王晓亮;  胡国新;  冉军学;  肖红领;  张露;  李晋闽
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用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  冉军学;  王晓亮;  胡国新;  肖红领;  张露;  殷海波;  李晋闽
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用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  胡国新;  王晓亮;  冉军学;  肖红领;  张露;  殷海波;  李晋闽
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用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  王晓亮;  冉军学;  胡国新;  肖红领;  张露;  殷海波;  李晋闽
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金属有机物化学沉积设备的反应室 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  冉军学;  王晓亮;  胡国新;  肖红领;  殷海波;  张露;  李晋闽
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