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一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998
发明人:  李文兵;  韩 勤;  秦 龙;  杨晓红;  倪海乔;  杜 云;  朱 彬;  鞠研玲
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma SS (Ma Shan-Shan);  Wang, BR (Wang Bao-Rui);  Sun BQ (Sun Bao-Quan);  Wu DH (Wu Dong-Hai);  Ni HQ (Ni Hai-Qiao);  Niu ZC (Niu Zhi-Chuan);  Ma, SS, Chinese Acad Sci, SKLSM, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: bqsun@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang HL (Wang Hai-Li);  Xiong YH (Xiong Yong-Hua);  Huang SS (Huang She-Song);  Ni HQ (Ni Hai-Qiao);  He ZH (He Zhen-Hong);  Dou XM (Dou Xiu-Ming);  Niu ZC (Niu Zhi-Chuan);  Wang, HL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: zcniu@red.semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma SS (Ma Shan-Shan);  Dou XM (Dou Xiu-Ming);  Chang XY (Chang Xiu-Ying);  Sun BQ (Sun Bao-Quan);  Xiong YH (Xiong Yong-Hua);  Niu ZC (Niu Zhi-Chuan);  Ni HQ (Ni Hai-Qiao);  Ma, SS, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, SKLSM, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: bqsun@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  鞠研玲;  杨晓红;  韩勤;  杜云;  倪海桥;  黄社松;  王鹏飞;  贺继方;  牛智川
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