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| 适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: CN200920106986.5, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 周美强; 周 威; 唐龙娟; 朱银芳; 杨富华 Adobe PDF(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1396/266  |  提交时间:2011/08/31 |
| 基于局域加热技术的圆片级低温键合系统及装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102502481A, 公开日期: 2012-09-07, 2012-06-20, 2012-06-20, 2012-09-07 发明人: 毛旭; 方志强; 杨晋玲; 杨富华 Adobe PDF(710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1464/396  |  提交时间:2012/09/07 |
| 用于微机电系统器件的圆片级三维封装方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102363520A, 公开日期: 2012-09-07, 2012-02-29, 2012-09-07 发明人: 郑海洋; 杨晋玲; 杨富华 Adobe PDF(582Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1465/337  |  提交时间:2012/09/07 |
| 采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 唐龙娟; 杨晋玲; 解婧; 李艳; 杨富华 Adobe PDF(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2032/287  |  提交时间:2011/08/31 |
| 微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN200910078562.7, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 周威; 周美强; 朱银芳; 杨富华 Adobe PDF(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1601/246  |  提交时间:2011/08/31 |
| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1315/219  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华 Adobe PDF(453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1541/224  |  提交时间:2011/08/31 |
| 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010534603.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 宁瑾; 李永梅; 韩国威; 杨富华 Adobe PDF(410Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1393/226  |  提交时间:2011/08/31 |
| 基于金锡合金键合的圆片级低温封装方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102130026A, 公开日期: 2012-09-07, 2011-07-20, 2012-09-07 发明人: 毛旭; 杨晋玲; 杨富华 Adobe PDF(701Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1440/351  |  提交时间:2012/09/07 |
| 基于光压效应的红外光子探测方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102252753A, 公开日期: 2012-09-07, 2011-11-23, 2012-09-07 发明人: 张逢新; 杨晋玲; 朱银芳 Adobe PDF(364Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1577/393  |  提交时间:2012/09/07 |