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用于金属有机物化学沉积设备的加热装置
胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-31
Country中国
Subtype发明
Abstract本发明公开了一种用于金属有机物化学沉积设备的加热装置,包括:至少两段炉丝,该至少两段炉丝布置在同一加热平面内,且每一段炉丝连接到各自的电极;邻近所述加热平面布置在至少两段炉丝下方的测温计,用于探测每一段炉丝的加热温度;和温度控制器,该温度控制器基于测温计测得的温度,分别控制施加到每一段炉丝的加热功率以分别控制该至少两段炉丝的加热温度,使该至少两段炉丝的加热温度均匀化。根据本发明的金属有机物化学沉积设备的加热装置采用多段炉丝加热,通过每段炉丝加热功率的独立控制和/或炉丝形状、尺寸的设计,实现大面积加热温度的均匀可控,从而提高了外延材料的质量。另外,采用水冷电极和加热器屏蔽罩,进一步提高了加热的稳定性和安全性。
metadata_83半导体材料科学中心
Patent NumberCN201010033964.8
Language中文
Status公开
Application NumberCN201010033964.8
Patent Agent王新华
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22317
Collection半导体材料科学中心
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GB/T 7714
胡国新,王晓亮,冉军学,等. 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置. CN201010033964.8.
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