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硅基光子集成的器件及制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2003-11-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  黄昌俊;  邓晓清;  成步文;  王红杰;  杨沁清;  余金中;  胡雄伟;  王启明
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采用TEOS源PECVD生长氧化硅厚膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2002-03-27, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  雷红兵;  王红杰;  胡雄伟;  邓晓清;  王启明
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一种电容式超声传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2015-02-06
发明人:  王小青;  孙英男;  宁瑾;  俞育德
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一种超声波触觉反馈系统及其制造方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  王小青;  宁瑾;  徐团伟;  俞育德;  魏清泉;  刘文文;  蒋莉娟
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一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-29
发明人:  王小青;  宁瑾;  徐团伟;  俞育德;  魏清泉;  刘文文;  蒋莉娟
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