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一种生长二氧化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-07-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓东;  季安;  邢波;  杨富华
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang WZ;  Deng JJ;  Lu J;  Chen L;  Ji Y;  Zhao JH;  Zhao, JH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: jhzhao@red.semi.ac.cn
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Low Temperature Deposited Nano-structured Vanadium Oxide Thin Films for Uncooled Infrared Detectors 会议论文
2008 2ND IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE, Shanghai, PEOPLES R CHINA, MAR 24-27, 2008
作者:  Li GK;  Wang XD;  Liang JR;  Ji A;  Hu M;  Yang F;  Liu J;  Wu NJ;  Chen HD;  Li, GK, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Natl Lab Superlattices & Microstruct, Beijing 100083, Peoples R China.
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Fabrication of Nano-structured VOx Film by Low Temperature Ion Beam Sputtering and Reductive Annealing 会议论文
2008 2ND IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE, Shanghai, PEOPLES R CHINA, MAR 24-27, 2008
作者:  Wang XD;  Li GK;  Liang JR;  Ji A;  Hu M;  Yang FH;  Liu J;  Wu NJ;  Chen HD;  Wang, XD, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Engn Res Ctr Semicond Integrated Technol, Beijing 100083, Peoples R China.
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V2o5 Thin-films  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, F;  Zheng, HZ;  Ji, Y;  Liu, J;  Li, GR;  Zhang, F, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: hzzheng@red.semi.ac.cn
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核独立分量分析研究及在电能质量监测中的应用 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
作者:  金骥
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High epitaxial growth rate of 4H-SiC using TCS as silicon precursor 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Ji, G;  Sun, GS;  Ning, J;  Liu, XF;  Zhao, YM;  Wang, L;  Zhao, WS;  Zeng, YP;  Ji, G, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China.
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基于频谱分析的光电子器件特性表征研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
作者:  温继敏
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Simulation and fabrication of the SiC-based clamped-clamped filter 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Zhao, YM;  Ning, J;  Sun, GS;  Liu, XF;  Wang, L;  Ji, G;  Zhao, WS;  Li, JM;  Yang, FH;  Zhao, YM, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Labs Transducer Technol, Beijing 100083, Peoples R China.
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Micromechanical Resonators  Frequency  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  吕蓬;  郭亨群;  申继伟;  王启明
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