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| Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter 会议论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928, SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, OCT 17-18, 2002
作者: Zuo YH; Huang CJ; Cheng BW; Mao RW; Luo LP; Gao JH; Bai YX; Wang LC; Yu JZ; Wang QM; Zuo YH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect Beijing 100083 Peoples R China.
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Fabry-perot Tunable Filter Surface Micromaching Cavity |
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作者: Cui LJ; Zeng YP; Wang BQ; Zhu ZP; Lin LY; Jiang CP; Guo SL; Chu JH; Cui LJ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Novel Mat Lab,Beijing 100083,Peoples R China.
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 王启元; 林兰英; 王建华; 邓惠芳; 谭利文; 王俊; 蔡田海; 郁元桓
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 王文青; 宋淑芳; 艾家和; 韩晓英; 赵金茹; 许宏飞; 史利军
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 谭利文; 王俊; 王启元; 郁元桓; 刘忠立; 邓惠芳; 王建华; 林兰英
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