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| p-GaN增强型HEMT栅极新结构的研究 学位论文 电子信息硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 杨军 Adobe PDF(137988Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:778/3  |  提交时间:2023/07/04 |
| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2015 作者: 杨健 Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1077/55  |  提交时间:2015/06/02 氮化铝 Mems 谐振器 有限单元法 压电系数测试 Icp刻蚀 |
| A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS 会议论文 PROCEEDINGS: IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS 页: 205-208, Cancun, MEXICO, 2011 作者: Xie J (Xie J.); Liu YF (Liu Y. F.); Zhang ML (Zhang M. L.); Yang JL (Yang J. L.); Yang FH (Yang F. H.) Adobe PDF(2599Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1942/358  |  提交时间:2011/12/13 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Zhang, Fengxin; Zhu, Yinfang; Yang, Jinling; Cao, Lixin; Yang, J.(jlyang@semi.ac.cn) Adobe PDF(1645Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:635/61  |  提交时间:2012/06/14 |
| 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 韩国威; 宁瑾; 孙国胜; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1228/100  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1715/70  |  提交时间:2011/08/31 |
| 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22 发明人: 钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华 Adobe PDF(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:845/86  |  提交时间:2014/11/24 |
| 一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-09-10 发明人: 杨添舒; 刘雯; 时彦朋; 马静; 张端; 郑婉华; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(1332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:985/66  |  提交时间:2014/12/25 |
| 半导体薄膜太阳能电池前后表面的陷光结构制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-05-21 发明人: 时彦朋; 王晓东; 刘雯; 杨添舒; 马静; 杨富华 Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1163/116  |  提交时间:2014/11/24 |
| 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-04-30 发明人: 杨添舒; 刘雯; 时彦朋; 马静; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(721Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1149/102  |  提交时间:2014/12/25 |