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| 微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2011 作者: 刘云飞 Adobe PDF(5059Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1294/40  |  提交时间:2011/05/31 |
| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1311/219  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华 Adobe PDF(453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1531/224  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1709/70  |  提交时间:2011/08/31 |
| 通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-08-01 发明人: 付英春; 王晓峰; 张加勇; 白云霞; 梁秀琴; 马慧莉; 季安; 杨富华 Adobe PDF(890Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:895/86  |  提交时间:2014/10/29 |
| 通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-25 发明人: 付英春; 王晓峰; 张加勇; 白云霞; 梁秀琴; 马慧莉; 季安; 杨富华 Adobe PDF(708Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:873/124  |  提交时间:2014/10/31 |
| 晶圆级光刻机键合方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22 发明人: 毛旭; 赵永梅; 杨香; 黄亚军; 季安; 白云霞; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(359Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:625/3  |  提交时间:2016/09/22 |