SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征
刘云飞
学位类型博士
导师杨晋玲
2011
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域微电子学
公开日期2011-05-31
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20695
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
刘云飞. 微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2011.
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