| 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法 | |
| 王建霞; 李志伟; 赵桂娟; 桑玲; 刘长波; 魏鸿源; 焦春美; 杨少延; 刘祥林; 朱勤生; 王占国 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-12-26 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Application Date | 2012-09-05 |
| Application Number | CN201210325765.3 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25328 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王建霞,李志伟,赵桂娟,等. 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的（391KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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