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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yingdong Tian;  Jianchang Yan;  Yun Zhang;  Xiang Chen;  Yanan Guo;  Peipei Cong;  Lili Sun;  Qinjin Wang;  Enqing Guo;  Xuecheng Wei;  Junxi Wang;  Jinmin Li
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhao, Yongmei;  Ning, Jin;  Han, Guowei;  Si, Chaowei;  Zhao, Y.(ymzhao@semi.ac.cn)
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Simulation and fabrication of the SiC-based clamped-clamped filter 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Zhao, YM;  Ning, J;  Sun, GS;  Liu, XF;  Wang, L;  Ji, G;  Zhao, WS;  Li, JM;  Yang, FH;  Zhao, YM, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Labs Transducer Technol, Beijing 100083, Peoples R China.
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Micromechanical Resonators  Frequency  
Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter 会议论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928, SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, OCT 17-18, 2002
作者:  Zuo YH;  Huang CJ;  Cheng BW;  Mao RW;  Luo LP;  Gao JH;  Bai YX;  Wang LC;  Yu JZ;  Wang QM;  Zuo YH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect Beijing 100083 Peoples R China.
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Fabry-perot  Tunable Filter  Surface Micromaching  Cavity