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氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  杨健;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  梁秀琴
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在衬底上制备多级台阶的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  杨健;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  梁秀琴;  王晓东;  杨富华
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