| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 | |
| 杨健 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 宁瑾 |
| 2015-05-28 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 关键词 | 氮化铝 Mems 谐振器 有限单元法 压电系数测试 Icp刻蚀 |
| 学科领域 | 微电子学 |
| 公开日期 | 2015-06-02 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26537 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨健. 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2015. |
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