已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 韩国威; 宁瑾; 孙国胜; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1221/100  |  提交时间:2011/08/31 |
| 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03 发明人: 康中波; 司朝伟; 宁瑾; 韩国威 Adobe PDF(456Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:877/100  |  提交时间:2014/10/24 |
| 基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东 Adobe PDF(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:766/95  |  提交时间:2014/10/31 |
| 采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东 Adobe PDF(349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:749/115  |  提交时间:2014/10/31 |
| 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22 发明人: 钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华 Adobe PDF(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:843/86  |  提交时间:2014/11/24 |
| 一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19 发明人: 赵永梅; 杨香; 季安; 张明亮; 韩国威; 宁瑾; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:878/92  |  提交时间:2014/11/05 |
| 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19 发明人: 赵永梅; 季安; 张明亮; 杨香; 宁瑾; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(701Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:960/98  |  提交时间:2014/11/05 |
| 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 杨健; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 梁秀琴 Adobe PDF(382Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:690/1  |  提交时间:2016/08/30 |
| 环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12 发明人: 张萌; 宁瑾; 司朝伟; 韩国威; 赵永梅 Adobe PDF(1115Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/2  |  提交时间:2016/09/12 |
| 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:665/6  |  提交时间:2016/08/30 |