SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法
钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-05-22
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2013-01-29
申请号CN201310034847.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25663
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
钟卫威,司朝伟,韩国威,等. 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法.
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谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方(836KB) 限制开放使用许可请求全文
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