| 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构 | |
| 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 杨富华 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体所 |
| 公开日期 | 2016-08-30 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 微电子学 |
| 申请日期 | 2014-12-04 |
| 申请号 | CN201410734012.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27215 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 司朝伟,韩国威,宁瑾,等. 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构.（313KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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