| 离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体 | |
| 王浩林 | |
| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 张兴旺 |
| 2016-05-30 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 材料物理与化学 |
| Keyword | 六方氮化硼 二维原子晶体 离子束溅射沉积 衬底 大尺寸晶畴 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Date Available | 2016-07-07 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27204 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王浩林. 离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016. |
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