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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li B (Li Bin);  Yang HW (Yang Huai-Wei);  Gui Q (Gui Qiang);  Yang XH (Yang Xiao-Hong);  Wang J (Wang Jie);  Wang XP (Wang Xiu-Ping);  Liu SQ (Liu Shao-Qing);  Han Q (Han Qin)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yin Wei-Hong;  Han Qin;  Yang Xiao-Hong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liang, Ji-Ran;  Hu, Ming;  Kan, Qiang;  Hou, Shun-Bao;  Liang, Xiu-Qin;  Chen, Hong-Da
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liang, Ji-Ran;  Hu, Ming;  Kan, Qiang;  Chen, Tao;  Liang, Xiu-Qin;  Chen, Hong-Da;  Liang, J.-R.(liang_jiran@tju.edu.cn)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  梁继然;  胡明;  阚强;  陈涛;  梁秀琴;  陈弘达
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  梁继然;  胡明;  梁秀琴;  阚强;  陈涛;  陈弘达
Adobe PDF(609Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1060/392  |  提交时间:2012/07/17
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhu B (Zhu Bin);  Han Q (Han Qin);  Yang XH (Yang Xiao-Hong);  Ni HQ (Ni Hai-Qiao);  He JF (He Ji-Fang);  Niu ZC (Niu Zhi-Chuan);  Wang X (Wang Xin);  Wang XP (Wang Xiu-Ping);  Wang J (Wang Jie);  Zhu, B, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail Address: zhubin@semi.ac.cn
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在电子束曝光前对涂有光刻胶的晶片进行聚焦调节的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010102016.5, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  王秀平;  杨晓红;  韩勤
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一种提高电子束曝光效率的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010201513.0, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  王秀平;  杨晓红;  韩勤;  王杰;  刘少卿
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用于电子束光刻胶PMMA的显影液及其配制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010101998.6, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  王秀平;  杨晓红;  韩勤
Adobe PDF(2013Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2510/125  |  提交时间:2011/08/30