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一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-09-10
发明人:  杨添舒;  刘雯;  时彦朋;  马静;  张端;  郑婉华;  王晓东;  杨富华
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一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
发明人:  赵永梅;  杨香;  季安;  张明亮;  韩国威;  宁瑾;  王晓东;  杨富华
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一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
发明人:  赵永梅;  季安;  张明亮;  杨香;  宁瑾;  王晓东;  杨富华
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环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
发明人:  张萌;  宁瑾;  司朝伟;  韩国威;  赵永梅
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