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采用TEOS源PECVD生长氧化硅厚膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2002-03-27, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  雷红兵;  王红杰;  胡雄伟;  邓晓清;  王启明
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Stress analysis of silica-based arrayed waveguide grating by a finite element method 会议论文
MATERIALS, DEVICES, AND SYSTEMS FOR DISPLAY AND LIGHTING, 4918, SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, OCT 14-18, 2002
作者:  Deng XQ;  Yang QQ;  Wang HJ;  Hu XW;  Wang QM;  Deng XQ Chinese Acad Sci Inst Semicond R&D Ctr Optoelect Beijing 100083 Peoples R China.
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Finite Element Method  Stress  Silica Optical Waveguide On silicOn  Birefringence  Optical Wave-guides  Difference Method  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yin JZ;  Du GT;  Liu SP;  Liu ZS;  Wang XQ;  Li ZT;  Yin ZY;  Yang SR;  Yin JZ,Jilin Univ,Dept Elect Engn,State Key Lab Integrated Optoelect,Jiefang Rd 125,Changchun 130023,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang ZY;  Meng XQ;  Jin P;  Li CM;  Qu SC;  Xu B;  Ye XL;  Wang ZG;  Zhang ZY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jin P;  Meng XQ;  Zhang ZY;  Li CM;  Qu SC;  Xu B;  Liu FQ;  Wang ZG;  Li YG;  Zhang CZ;  Pan SH;  Jin P,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Meng XQ;  Xu B;  Jin P;  Ye XL;  Zhang ZY;  Li CM;  Wang ZG;  Meng XQ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Meng XQ;  Jin P;  Xu B;  Li CM;  Zhang ZY;  Wang ZG;  Meng XQ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang ZY;  Xu B;  Jin P;  Meng XQ;  Li CM;  Ye XL;  Li DB;  Wang ZG;  Zhang ZY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  He J;  Xu B;  Wang ZG;  Qu SC;  Liu FQ;  Zhu TW;  Ye XL;  Zhao FA;  Meng XQ;  He J,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang ZY;  Xu B;  Jin P;  Meng XQ;  Li CM;  Ye XL;  Wang ZG;  Zhang ZY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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