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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Zhang JY; Wang XF; Wang XD; Fan ZC; Li Y; Ji A; Yang FH; Wang, XF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Engn Res Ctr Semicond Integrated Technol, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail Address: jyzhang08@semi.ac.cn; wangxiaofeng@semi.ac.cn; fhyang@red.semi.ac.cn Adobe PDF(659Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1520/464  |  提交时间:2010/04/05 |
| ICP干法刻蚀工艺制备剖面为正梯形的台面的方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-08-21 发明人: 徐晓娜; 胡传贤; 樊中朝; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(1075Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1111/82  |  提交时间:2014/11/17 |
| 一种复合膜片压力传感器结构 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN200810224110.0, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 王晓东; 樊中朝; 季安; 邢波; 杨富华 Adobe PDF(289Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1649/210  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12 发明人: 赵永梅; 何志; 季安; 王晓峰; 黄亚军; 潘岭峰; 樊中朝; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:681/2  |  提交时间:2016/09/12 |
| 一种新型GaN基增强型HEMT器件及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 贾利芳; 何志; 刘志强; 李迪; 樊中朝; 程哲; 梁亚楠; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(683Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:682/5  |  提交时间:2016/08/30 |
| 一种新型GaN基增强型HEMT器件及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 贾利芳; 何志; 刘志强; 李迪; 樊中朝; 程哲; 梁亚楠; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(571Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:654/5  |  提交时间:2016/08/30 |