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集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉积装置; 集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉积装置
张峰; 孙国胜; 王雷; 赵万顺; 刘兴昉; 闫果果; 曾一平
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2012-08-29 ; 2012-08-29 ; 2012-08-29
Country中国
Subtype发明
Abstract 本发明公开了一种原子层沉积装置。该原子层沉积装置包括:薄膜生长室,在其相对的两侧面分别设置第一红外观察窗口和第二红外观察窗口;傅里叶红外光源,位于薄膜生长室的一侧,用于发射红外光束,红外光束通过第一红外观察窗口透射至位于薄膜生长室内部的样品表面;红外探测器,位于薄膜生长室的另一侧,用于收集经过样品表面后通过第二红外观察窗口射出的红外光束;分析系统,与红外探测器相连接,用于利用经过样品表面后通过第二红外观察窗口射出的红外光束判断原子层沉积的状态和/或反应物的残留。本发明原子层沉积装置实现了对沉积物的实时监测,可以给出是否进行了原子层沉积反应,以及反应残余物是否去除干净的准确信息,从而有利于使用者掌握实验的实时进展情况。
metadata_83半导体材料科学中心
Application Date2011-12-29
Patent NumberCN102492939A
Language中文
Status公开
Application Number CN201110449876.0
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23307
Collection半导体材料科学中心
Recommended Citation
GB/T 7714
张峰,孙国胜,王雷,等. 集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉积装置, 集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉积装置. CN102492939A.
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集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉(523KB) 限制开放LicenseApplication Full Text
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