GaN基日盲型紫外探测器面阵及其制作方法
颜廷静; 苏艳梅; 王国东; 种 明
2010-08-12
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2010-01-16 ; 2010-08-12
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种GaN基日盲型紫外探测器面阵,包括:一衬底;一成核层,该成核层生长在衬底上;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层生长在成核层上;一有源层,该有源层生长在N型欧姆接触层上;一P型欧姆接触层,该P型欧姆接触层生长在有源层上;一P型欧姆接触电极,该P型欧姆接触电极生长在P型欧姆接触层上;一二次金属,该二次金属生长在P型欧姆接触电极的上面;一N型欧姆接触电极,该N型欧姆接触电极生长在N型欧姆接触层上;一钝化层,该钝化层淀积在N型欧姆接触层、有源层、P型欧姆接触层、P型欧姆接触电极、二次金属和N型欧姆接触电极的两侧。
申请日期2008-07-02
语种中文
专利状态实质审查的生效
申请号CN200810116040.7
专利代理人汤保平:中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/13432
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
颜廷静,苏艳梅,王国东,等. GaN基日盲型紫外探测器面阵及其制作方法[P]. 2010-08-12.
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