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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Man JW;  Zhu NH;  Zhang HG;  Sun K;  Ke JH;  Han W;  Chen W;  Liu Y;  Wang X;  Yuan HQ;  Xie LA;  Zhu, NH, Chinese Acad Sci, State Key Lab Integrated Optoelect, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. nhzhu@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li CB;  Zuo YH;  Cheng BW;  Mao RW;  Zhao L;  Shi WH;  Luo LP;  Yu JZ;  Wang QM;  Li, CB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: cbli@mail.semi.ac.cn
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Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter 会议论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928, SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, OCT 17-18, 2002
作者:  Zuo YH;  Huang CJ;  Cheng BW;  Mao RW;  Luo LP;  Gao JH;  Bai YX;  Wang LC;  Yu JZ;  Wang QM;  Zuo YH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect Beijing 100083 Peoples R China.
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Fabry-perot  Tunable Filter  Surface Micromaching  Cavity