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共掺杂的硅基杂质中间带材料的制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-09-09, 2012-09-09, 2012-09-09
Inventors:  马志华;  左玉华;  薛春来;  成步文;  王启明;  郑世雄
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