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无权访问的条目 期刊论文
作者:  祝梦遥;  鲁军;  马佳淋;  李利霞;  王海龙;  潘东;  赵建华
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  沈海波;  郭亨群;  王国立;  王加贤;  吴志军;  宋江婷;  徐骏;  陈坤基;  王启明
Adobe PDF(244Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1587/396  |  提交时间:2010/11/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  宋江婷;  郭亨群;  王加贤;  吴志军;  王国立;  沈海波;  徐骏;  陈坤基;  王启明
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基于氮化铝缓冲层的硅基3C-碳化硅异质外延生长方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-10-08, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  赵永梅;  孙国胜;  刘兴昉;  李家业;  王雷;  赵万顺;  李晋闽;  曾一平
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一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-08-13, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  孙国胜;  王雷;  赵万顺;  李家业;  赵永梅;  刘兴昉
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用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-03-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  刘兴昉;  孙国胜;  李晋闽;  赵永梅;  王雷;  赵万顺;  李家业;  曾一平
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一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-01-02, 公开日期: 2009-06-04
发明人:  孙国胜;  王雷;  赵万顺;  李家业;  赵永梅;  刘兴昉
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一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-01-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  孙国胜;  王雷;  赵万顺;  李家业;  赵永梅;  刘兴昉
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  黄燕华;  陈松岩;  李成;  蔡加法;  余金中
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宽带隙半导体材料SiC 外延生长工艺的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2007
作者:  李家业
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