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| 基于局域加热技术的圆片级低温键合系统及装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102502481A, 公开日期: 2012-09-07, 2012-06-20, 2012-06-20, 2012-09-07
发明人: 毛旭; 方志强; 杨晋玲; 杨富华
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| 基于金锡合金键合的圆片级低温封装方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102130026A, 公开日期: 2012-09-07, 2011-07-20, 2012-09-07
发明人: 毛旭; 杨晋玲; 杨富华
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| 一种提高光刻胶曝光精度的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102354087A, 公开日期: 2012-09-07, 2012-02-15, 2012-09-07
发明人: 毛旭; 杨晋玲; 杨富华
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| 一种挡光式微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人: 毛旭; 吕兴东; 魏伟伟; 杨晋玲; 杨富华
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| 阵列型微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人: 毛旭; 吕兴东; 魏伟伟; 杨晋玲; 杨富华
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| 一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人: 毛旭; 魏伟伟; 吕兴东; 杨晋玲; 杨富华
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| 一种快速射频微机械开关 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-08-01
发明人: 朱银芳; 魏伟伟; 毛旭; 杨晋玲; 杨富华
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| 晶圆级光刻机键合方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人: 毛旭; 赵永梅; 杨香; 黄亚军; 季安; 白云霞; 王晓东; 杨富华
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