SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
阵列型微机电可变光衰减器
毛旭; 吕兴东; 魏伟伟; 杨晋玲; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-02-12
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2013-11-12
申请号CN201310561866.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25484
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
毛旭,吕兴东,魏伟伟,等. 阵列型微机电可变光衰减器.
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阵列型微机电可变光衰减器.pdf(1633KB) 限制开放使用许可请求全文
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