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	无权访问的条目学位论文作者: 王凤翔 Adobe PDF(4982Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：133/4 \| 提交时间：2018/05/24
	新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者: 张萌 Adobe PDF(3003Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：572/36 \| 提交时间：2016/05/26
	氮化铝MEMS谐振器关键技术研究学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2015 作者: 杨健 Adobe PDF(3486Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：965/55 \| 提交时间：2015/06/02 氮化铝 Mems 谐振器有限单元法压电系数测试 Icp刻蚀
	用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2014 作者: 赵晖 Adobe PDF(5392Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：880/46 \| 提交时间：2014/06/03 参考频率源 Mems 谐振器高阶谐振模态振荡器温度补偿

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