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| 硅微机械陀螺仪的稳定性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者: 刘楠
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Mems 陀螺仪 稳定性 介质电荷 温度补偿 |
| 无权访问的条目 学位论文
作者: 王凤翔
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 赵继聪
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 吕兴东
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 何欢
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 廖驹
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| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者: 杨健
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氮化铝 Mems 谐振器 有限单元法 压电系数测试 Icp刻蚀 |
| 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵晖
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参考频率源 Mems 谐振器 高阶谐振模态 振荡器 温度补偿 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Wang YS (Wang YanShuo); Chen NF (Chen NuoFu); Zhang XW (Zhang XingWang); Bai; YM (Bai YiMing); Wang Y (Wang Yu); Huang TM (Huang TianMao); Zhang H (Zhang Han); Shi HW (Shi HuiWei); Wang, YS, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yswang@semi.ac.cn; nfchen@semi.ac.cn
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Chen J; Wang X; Wu AM; Zhang B; Wu YX; Zhu JJ; Yang H; Chen, J, Chinese Acad Sci, State Key Lab Funct Mat Informat, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, 865 Changning Rd, Shanghai 200050, Peoples R China. E-mail Address: jchen@mail.sim.ac.cn
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