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无权访问的条目 学位论文
作者:  李杨
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AlN材料外延技术及其应用研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  杜泽杰
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金属有机化合物气相沉积（mocvd）  深紫外led  氮化铝（aln）  成核层  
蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  孔苏苏
Adobe PDF(4691Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1188/53  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝 Hvpe 应力  
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1123/55  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀