蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究 | |
孔苏苏 | |
学位类型 | 硕士 |
导师 | 杨少延 |
2015-06-01 | |
学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
学位授予地点 | 北京 |
学位专业 | 材料工程 |
关键词 | 氮化铝 Hvpe 应力 |
学科领域 | 半导体材料 |
公开日期 | 2015-06-02 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26570 |
专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孔苏苏. 蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究.p(4691KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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