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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liang, Liyan;   Bin, Guangyu;   Chen, Xiaogang;   Wang, Yijun;   Gao, Shangkai;   Gao, Xiaorong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liyan Liang ;   Jiajun Lin ;   Chen Yang ;   Yijun Wang ;   Xiaogang Chen ;   Shangkai Gao ;   Xiaorong Gao
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低损伤PECVD沉积致密SiO2的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-05-07, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈宇;  王良臣;  伊晓燕;  李艳
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