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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 唐海马; 郑中山; 张恩霞; 于芳; 李宁; 王宁娟; 李国花; 马红芝 Adobe PDF(1182Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:982/259  |  提交时间:2012/07/17 |
| The ICP etching technology of 3C-SiC films 会议论文 INTERNATIONAL MEMS CONFERENCE 2006, 34: 511-515 2006, Singapore, SINGAPORE, MAY 09-12, 2006 作者: Ning J (Ning Jin); Gong QC (Gong Quancheng); Sun GS (Sun Guosheng); Liu ZL (Liu Zhongli) Adobe PDF(325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1880/476  |  提交时间:2011/07/14 |
| 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 韩国威; 宁瑾; 孙国胜; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1221/100  |  提交时间:2011/08/31 |
| 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03 发明人: 康中波; 司朝伟; 宁瑾; 韩国威 Adobe PDF(456Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:877/100  |  提交时间:2014/10/24 |
| 基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东 Adobe PDF(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:766/95  |  提交时间:2014/10/31 |
| 用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-29 发明人: 杨晋玲; 王晶晶; 王帅鹏; 朱银芳; 杨富华; 张宁 Adobe PDF(1510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:781/69  |  提交时间:2014/10/31 |
| 采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东 Adobe PDF(349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:749/115  |  提交时间:2014/10/31 |
| 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22 发明人: 钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华 Adobe PDF(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:842/86  |  提交时间:2014/11/24 |
| 一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19 发明人: 赵永梅; 杨香; 季安; 张明亮; 韩国威; 宁瑾; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:878/92  |  提交时间:2014/11/05 |
| 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19 发明人: 赵永梅; 季安; 张明亮; 杨香; 宁瑾; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(701Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:960/98  |  提交时间:2014/11/05 |