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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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专题:半导体材料科学中心
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无权访问的条目
期刊论文
作者:
Deng QW
;
Wang XL
;
Yang CB
;
Xiao HL
;
Wang CM
;
Yin HB
;
Hou QF
;
Li JM
;
Wang ZG
;
Hou X
;
Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn
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浏览/下载:2271/623
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提交时间:2011/07/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Hou QF
;
Wang XL
;
Xiao HL
;
Wang CM
;
Yang CB
;
Yin HB
;
Deng QW
;
Li JM
;
Wang ZG
;
Hou X
;
Hou, QF, Chinese Acad Sci, Ctr Mat Sci, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. qfhou@semi.ac.cn
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浏览/下载:2252/626
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提交时间:2011/07/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yin, Haibo
;
Wang, Xiaoliang
;
Ran, Junxue
;
Hu, Guoxin
;
Zhang, Lu
;
Xiao, Hongling
;
Li, Jing
;
Li, Jinmin
;
Yin, H.(hbyin@semi.ac.cn)
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浏览/下载:1045/232
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提交时间:2012/06/14
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Sun LL (Sun Lili)
;
Liu C (Liu Chao)
;
Li JM (Li Jianming)
;
Wang JX (Wang Junxi)
;
Yan FW (Yan Fawang)
;
Zeng YP (Zeng Yiping)
;
Li JM (Li Jinmin)
;
Sun, LL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: lilisun@semi.ac.cn
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浏览/下载:1205/303
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提交时间:2010/05/07
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Deng Qingwen
;
Wang Xiaoliang
;
Xiao Hongling
;
Ma Zeyu
;
Zhang Xiaobin
;
Hou Qifeng
;
Li Jinmin
;
Wang Zhanguo
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浏览/下载:1206/182
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提交时间:2011/08/16
用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:
胡国新
;
王晓亮
;
冉军学
;
肖红领
;
殷海波
;
张露
;
李晋闽
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浏览/下载:1427/177
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提交时间:2011/08/31
一种化学气相沉积装置
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010162506.4, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
段瑞飞
;
曾一平
;
王军喜
;
冉军学
;
胡国新
;
羊建坤
;
梁勇
;
路红喜
;
李晋闽
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浏览/下载:1742/272
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提交时间:2011/08/31
用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
殷海波
;
王晓亮
;
胡国新
;
冉军学
;
肖红领
;
张露
;
李晋闽
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浏览/下载:1563/239
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提交时间:2011/08/31
一种碳化硅同质PIN微结构材料及其制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910237845.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
孙国胜
;
刘兴昉
;
王雷
;
赵万顺
;
杨挺
;
吴海雷
;
闫果果
;
曾一平
;
李晋闽
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浏览/下载:1882/292
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提交时间:2011/08/31
一种用于金属有机物化学气相沉积设备的进气喷头结构
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010269018.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
冉军学
;
胡国新
;
梁勇
;
王军喜
;
段瑞飞
;
曾一平
;
李晋闽
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浏览/下载:1472/250
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提交时间:2011/08/31