AlN单晶衬底生产设备及其使用方法 | |
李辉杰; 杨少延; 魏鸿源; 赵桂娟; 汪连山; 李成明; 刘祥林; 王占国 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
Date Available | 2016-09-22 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体材料 |
Application Date | 2015-05-14 |
Application Number | CN201510245599.X |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27520 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 李辉杰,杨少延,魏鸿源,等. AlN单晶衬底生产设备及其使用方法. |
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