| AlN单晶衬底生产设备及其使用方法 | |
| 李辉杰; 杨少延; 魏鸿源; 赵桂娟; 汪连山; 李成明; 刘祥林; 王占国 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-09-22 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Application Date | 2015-05-14 |
| Application Number | CN201510245599.X |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27520 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李辉杰,杨少延,魏鸿源,等. AlN单晶衬底生产设备及其使用方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| AlN单晶衬底生产设备及其使用方法.pd（600KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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