| 硅基横向纳米线多面栅晶体管及其制备方法 | |
| 韩伟华; 王昊; 马刘红; 洪文婷; 杨晓光; 杨涛; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-09-18 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2013-06-13 |
| Application Number | CN201310233363.5 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25549 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 韩伟华,王昊,马刘红,等. 硅基横向纳米线多面栅晶体管及其制备方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 硅基横向纳米线多面栅晶体管及其制备方法.（1312KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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