截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法 | |
王文军; 李晋闽; 王军喜; 马平; 纪攀峰; 郭金霞; 孔庆峰; 胡强 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2014 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体器件 |
Application Date | 2013-09-26 |
Application Number | CN201310444715.1 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25519 |
Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王文军,李晋闽,王军喜,等. 截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识(282KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment