| 截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法 | |
| 王文军; 李晋闽; 王军喜; 马平; 纪攀峰; 郭金霞; 孔庆峰; 胡强 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2014 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2013-09-26 |
| Application Number | CN201310444715.1 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25519 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王文军,李晋闽,王军喜,等. 截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识（282KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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