锑辅助生长的砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的制作方法; 锑辅助生长的砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的制作方法 | |
杨晓光; 杨涛 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种锑辅助生长的砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的制作方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长n+型GaAs层和本征GaAs缓冲层;步骤3:在本征GaAs缓冲层上沉积一锑层;步骤4:在锑层上依次生长多个周期的量子点结构、本征GaAs层、p型GaAs层、p+型GaAs层、p+型Al0.8Ga0.2As层和p+型GaAs层;步骤5:在p+型GaAs层上蒸发上金属电极;步骤6:刻蚀上金属电极,使上金属电极形成网状;步骤7:在网状上金属电极上及裸露的p+型GaAs层上生长减反层;步骤8:剥离减反层,使上金属电极裸露;步骤9:在衬底的下表面制作下金属电极,形成电池组件;步骤10:对电池组件进行封装,完成太阳电池的制作。 |
metadata_83 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Patent Number | CN102176490A |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201110044608.0 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23487 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 杨晓光,杨涛. 锑辅助生长的砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的制作方法, 锑辅助生长的砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的制作方法. CN102176490A. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
锑辅助生长的砷化铟_砷化镓量子点太阳电池(313KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment