| 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法; 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法 |
| 郑婉华; 马传龙; 范学东; 马绍栋; 齐爱谊
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2012-09-09
; 2012-09-09
; 2012-09-09
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法,包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合,得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极,然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化,得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明,可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。 |
| 部门归属 | 纳米光电子实验室
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| 专利号 | CN102520561A
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN201110431555.8
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23446
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| 专题 | 纳米光电子实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
郑婉华,马传龙,范学东,等. 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法, 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法. CN102520561A.
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