| 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法; 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法 | |
| 郑婉华; 马传龙; 范学东; 马绍栋; 齐爱谊 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法,包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合,得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极,然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化,得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明,可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。 |
| metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
| Patent Number | CN102520561A |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201110431555.8 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23446 |
| Collection | 纳米光电子实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 郑婉华,马传龙,范学东,等. 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法, 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法. CN102520561A. |
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| 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法（394KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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