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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu YF;  Xie J;  Zhang ML;  Yang JL;  Yang FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. jlyang@semi.ac.cn
Adobe PDF(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1232/270  |  提交时间：2011/07/06
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Song YF (Song Yafeng);  Lu YW (Lu Yanwu);  Zhang BA (Zhang Biao);  Xu XQ (Xu Xiaoqing);  Wang J (Wang Jun);  Guo Y (Guo Yan);  Shi K (Shi Kai);  Li ZW (Li Zhiwei);  Liu XL (Liu Xianglin);  Yang SY (Yang Shaoyan);  Zhu QS (Zhu Qinsheng);  Wang ZG (Wang Zhanguo);  Song, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: songyafeng@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Fu FY;  Chen W;  Zhou WJ;  Liu AJ;  Xing MX;  Wang YF;  Zheng WH;  Zheng, WH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. whzheng@semi.ac.cn
Adobe PDF(682Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：991/224  |  提交时间：2011/07/06
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hao YF;  Chen YH;  Liu Y;  Wang ZG;  Hao YF Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: yhchen@semi.ac.cn
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In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Liu, YF;  Xie, J;  Yang, JL;  Tang, LJ;  Yang, FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Films  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li GH;  Su FH;  Wang WJ;  Ding K;  Chen W;  Liu YF;  Joly AG;  Li, GH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: ghli@red.semi.ac.cn;  weichen@uta.edu
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Lu Y;  Liu XL;  Lu DC;  Yuan HR;  Chen Z;  Fan TW;  Li YF;  Han PD;  Wang XH;  Wang D;  Wang ZG;  Lu DC,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
Adobe PDF(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1193/359  |  提交时间：2010/08/12
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Chen Z;  Lu DH;  Yuan HR;  Han P;  Liu XL;  Li YF;  Wang XH;  Lu Y;  Wang ZG;  Lu DH,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Lab Semicond Mat & Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang YC;  Huang CJ;  Ye XL;  Xu B;  Ding D;  Wang JZ;  Li YF;  Liu FQ;  Wang ZG;  Zhang YC,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Lab Semicond Mat Sci,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li YF;  Lin F;  Xu B;  Liu FQ;  Ye WL;  Ding D;  Wang ZG;  Li YF,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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